微傳感器應用在微機電系統
2013-12-18 10:07:51??????點擊：
一個典型的MEMS產品主要由微傳感器、數字處理電路、微執行器、微能源等組成。而微機電傳感器是利用微機械加工技術與微電子加工技術制作的各種傳感器。大家都知道傳感器是將外部信號轉化為電信號的一種裝置，能感受規定的被測量并按照一定的規律轉換成可用輸出信號的器件，通常由敏感元件和轉換元件組成。
敏感元件是傳感器中能直接感受或響應外界信號的部分，轉換元件是傳感器中能將敏感元件感受或響應的外界信號轉換成適合于傳輸或測量的電信號部分。微機電傳感器加工技術制作的各種傳感器，與傳統技術制作的傳感器相比，具有以下特點：微型化和集成化，高精度，高壽命，低成本，低功耗，快速響應。微傳感器的以上特點決定著其具有廣闊的應用領域，在汽車工業、航空航天、生物醫學、家用電器、環境測量、國防軍事等均具有巨大的應用潛力。
一般所提到的微機電傳感器有幾個大類：分別是壓阻傳感器，電容傳感器，壓電傳感器，諧振傳感器，隧道傳感器，熱傳感器，光傳感器，化學傳感器，微加速度傳感器等。這些微機電傳感器都有著不同的原理，但是有著相同類似的性能。他們都具有快速的響應速度，在微機電系統是不可缺少的器件。
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